仪器设备

  首页>>仪器设备
-------------------------------------------------------
微纳操控平台纳米技术实验室拥有多台高端原子力显微镜,还有实验室完全自主研发的三维扫描探针显微测试系统以及可实现微纳离子并行操作的光诱导介电泳系统。
生物实验平台纳米技术实验室拥有生物安全柜、膜片钳放大器、倒置荧光显微镜、CO2培养箱等相关设备,为生物技术研究提供了重要的设备支撑。
分析测试平台微纳米技术实验室拥有包括扫描电子显微镜、激光干涉仪、电容传感器、半导体分析仪、低温探针台、矢量网络分析仪等诸多高端分析测试设备,为纳米技术的研究提供了重要的基础保障。
其他平台微纳米技术实验室还拥有包括引线键合机、匀胶旋涂仪、雕刻机和磁控离子溅射仪、等离子清洗机等相关辅助设备,为微纳米器件、微流控芯片等大量科学实验研究提供了必要的加工手段。
中国科学院沈阳自动化研究所-微纳米自动化实验室 版权所有 1996-2009 辽ICP备05000867
地址:中国 辽宁 沈阳市南塔街114号 邮编:110016 电话:(024)23970215 传真:(024)23970021 网站管理