微纳米科学技术是新兴的科研前沿领域，其重要性已成为世界性共识。本研究部自2002年成立以来，在所领导大力支持下，迅速发展成具有多名海外知名学者、学科带头人和一批博士、硕士及研究生为骨干的科研队伍，建设了具有国际先进水平的微纳自动化技术实验研究环境，确立了面向微纳制造的学科发展目标，为微纳米科学研究和应用、纳米器件制造提供新的科学实验... 详细