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课题组论文获IEEE-ROBIO会议T. J. Tarn机器人学最佳论文奖
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2017-12-18 10:31:49

    12月5日至8日,2017年度IEEE机器人学与仿生学国际会议(以下简称IEEE-ROBIO)在澳门召开,来自世界多个国家近500名机器人与仿生学相关领域的研究者和科学家参会,展示了最为前沿的科研成果。中国科学院沈阳自动化研究所微纳米课题组博士研究生施佳林与导师刘连庆研究员等合作完成的论文The Fabrication of Au Nanowire by Phase-control Mode of USV-assisted AFM Nanomachining获得了本次会议的T. J. Tarn 机器人学最佳论文奖(T. J. Tarn Best Paper in Robotics)。施佳林在会议上作口头报告,得到与会专家的好评。 

 

    近来,基于AFM的纳米操作机器人技术被广泛应用在高精度纳米操作与加工、细胞生物信息检测等领域,为纳米科技和生命科学提供了新的研发技术途径。The Fabrication of Au Nanowire by Phase-control Mode of USV-assisted AFM Nanomachining以纳米电子器件制造为背景,针对传统纳米加工制造方法对材料有损伤和污染、对准精度低、灵活性差、成本高等关键问题,利用纳米操作机器人作为制造工具并结合MEMS工艺,提出了基于相位反馈的新颖加工模式。基于相位反馈的原位加工方法不仅对材料完全无损和无污染,而且也解决了纳米操作机器人加工超薄材料过程导致的过切割、针尖磨损和堆积物效应等问题,使得纳米操作机器人技术的应用得到了进一步的拓展。

 

    IEEE-ROBIO是由IEEE机器人与自动化学会主办、专注于机器人和仿生学的重要国际会议,是继ICRA和IROS之后,国际机器人学界的又一个旗舰会议。此次会议汇集了国际上机器人、自动控制和仿生领域等多个研究领域的最新进展,收到了来自33个国家和地区的558篇论文,其中超过40%的论文来自中国大陆以外的国家和地区。此次会议获奖,进一步扩大了沈阳自动化所微纳米课题组在纳米操作机器人学领域的国内外影响力,同时也表明了研究所在此领域内科研水平的稳步提升。

 

 

 

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